從總體上來講，電伺服驅(qū)動比氣動伺服驅(qū)動要貴，但也要因具體要求及場合而定。有些小功率的直流電機構(gòu)成電動滑臺(電伺服系統(tǒng))實際上比氣動伺服系統(tǒng)要便宜。

　 如：當(dāng)負(fù)載為1.5kg、工作行程為80mm、速度在2~170mm/s之間、精度為±0.1mm、加速度2.5m/s2等工況條件時，采用小型電動滑臺、控制器、馬達電纜、控制電纜、編程電纜以及電源電纜等組成的電伺服系統(tǒng)，其價格就比氣動伺服系統(tǒng)便宜25%。同樣，對于帶活塞桿電缸也是如此。

  需要說明的是如果采用交流電機的話，所組成的電伺服系統(tǒng)的價格要比氣動伺服系統(tǒng)高出40%左右。

　從購買和應(yīng)用成本來看，目前氣缸廠家還是具有比較明顯的優(yōu)勢的。對于氣動系統(tǒng)來說，控制系統(tǒng)及執(zhí)行機構(gòu)都非常簡單，每個氣缸只需配置一個電磁閥就可完成氣路的切換，進行運動控制，氣缸發(fā)生故障的概率也比較小，維護簡單方便，成本也低。

  而對于電動執(zhí)行器來說，雖然電能的獲得比較簡單，能量成本較低，但購買及應(yīng)用成本較高，不僅需要配置電機，還需要一套機械傳動機構(gòu)以及相應(yīng)的驅(qū)動元件。同時使用電動執(zhí)行器需要很多保護措施，錯誤的電路連接、電壓的波動及負(fù)載的超載都會對電驅(qū)動器造成損壞，因此需要在電路及機械上加裝保護系統(tǒng)，增加了很多額外的費用支出。另外，由于電動執(zhí)行器驅(qū)動單元的參數(shù)化設(shè)置較多，且集成度高，所以其一旦發(fā)生故障，就要更換整個元件。而且當(dāng)系統(tǒng)需要的驅(qū)動力增加時，也要成套更換元件才能實現(xiàn)。

   因此綜合比較可以看出氣缸在購買及維護成本上有較大優(yōu)勢。

　 綜合以上分析，我們應(yīng)該看出，標(biāo)準(zhǔn)氣缸與電動執(zhí)行器各有特點，不可單地用效率的高低來評價其優(yōu)劣。隨著電氣技術(shù)的發(fā)展，電動執(zhí)行器的成本還會進一步下降，預(yù)期其應(yīng)用領(lǐng)域還會進一步拓廣，但要完全取代氣缸是不現(xiàn)實的。